在半导体生产过程中的晶圆，必须严格按照要求储存和保护，半导体末端高效过滤引风装置设计主要有前端高效过滤、引风机、末尾高效过滤、以及版库存放区等构成，安全有效地保护晶圆的结晶，同时在晶圆运输过程中能够整