本文的研究主要是对半导体机台的维修和保养的研究。主要是能够从中学习到设备安全操作和维护的基本知识。而且具有设备的故障检测水平以及维修的技能。使得能够正确地进行检测和维修。学会利用维修的器具和办法来进行