晶圆半导体搬运机械手臂SCR3100S
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上传:tumux_61355
2023-10-27
5分
机械手臂规格机械手臂型号 SCR3100S-200-PM腕部机构模块 SARS00169 手指 3D-02535被搬运物 ～150mm晶圆晶圆吸附方式 真空吸附式机械结构格式 圆柱坐标 控制轴 3轴电
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