晶圆半导体搬运机械手臂GTCR5280
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上传:tumux_2965
2023-10-24
5分
机械手臂型号 GTCR5280-300-AM被搬运物 ～300mm晶圆晶圆吸附方式 真空吸附式机械结构格式 水平多关节 控制轴 5軸电机类型 全轴采用AC伺服电机可动范围 被搬送物体中心到达距离 旋转
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