晶圆半导体搬运机械手臂MCR3160C
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上传:tumux_2167
2023-10-24
5分
机械手臂型号 MCR3160C-300-AM被搬运物 ～300mm晶圆晶圆吸附方式 真空吸附式，下托式，边缘夹持式机械结构格式 圆柱坐标 控制轴 3轴电机类型 全轴采用AC伺服电机可动范围 被搬送物体
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