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晶圆厂高纯化工原料桶的清洗
有关晶圆厂高纯化工原料桶的清洗，清洗要求是：颗粒小于10g/ml，金属含量小于100ppt。不知有没有高手能赐教？谢谢！！
请教关于超纯水水箱的清洗方法
大家好！ 超纯水出水要求是18MΩ，最近碰到清洗超纯水系统水箱的问题，像原水箱、超滤水箱、中间水箱、淡水水箱、纯水缓冲水箱都要清洗，不知道成熟的方法步骤有哪些？望各位指教。谢谢
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