半导体精密应用双滚珠导杆装置主要有滚珠导杆装置、导杆、真空接头、导套导芯等部件组成。是一种无限直线运动装置，通过点接触，容许负荷较小，可以在最小磨擦阻力情况下实现高精度与轻快的直线运动。该装置应用广泛