芯片制造行业对超纯水的水质有要求吗
芯片制造行业对超纯水的水质要求非常高,在生产过程中需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。这也对超纯水设备的处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了严格的要求。下面莱特莱德小编为您介绍:芯片制造行业对超纯水的水质有要求吗? 为满足用户需要,达到符合标准的水质,尽可能地减少各级的污染,延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量。在工艺设计上,取达到国家自来水标准的水为源水,再设有介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床系统(EDI电除盐系统)等。系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人
电子超纯水系统工程案例
.设计条件及出水水质1.1 进水主要水质指标:成都市自来水 1.2 用户对出水要求:出水量:超纯水0.5吨/小时 出水压力:2公斤; 出水水质:主机系统超纯水:电阻率≥18MΩ.㎝@25℃;出水温度:常温。1.3水质检测:随机自带有电导率仪,出水电导率在线显示。1.4 设备最终产水量:纯水0.5吨/小时@25℃;超纯水0.5吨/小时@25℃;1.5系统总进水量:1.2m3/h;1.6一级反渗透的回收率≥50%;1.7二级反渗透的回收率≥45%;1.8第一级反渗透的浓水排放回收另作它用,我方可将浓水接至贵方要求的回收容器;第二级反渗透的浓水全部回流至一级反渗透前,流量约为0.18t/h;1.9 CEDI装置回收率:85~95%,回流流量约0.03m3/h;另一部分浓水排放回收作它用。1.10 控制方式:单片机或PLC自动&手动控制。 1.11苦咸水RO膜元件产品性能规范产 品 产品水流量 脱盐率 m3/d l/h