软件简介：

ISO14644由下列各部分组成，但具有“洁净室和相关受控环境”的总标题。
——第1部分：空气洁净度等级划分
——第2部分：为认证ISO14644-1相符性用的测试和监控技术要求
——第3部分：计量和测试方法
——第4部分：设计、建造和投产
——第5部分：运行
——第6部分：术语和定义
——第7部分：增强型洁净装置



附件名：200712241198457301283.rar

文件大小：11K

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