1、原有净化空调工程情况 1.1 简况 该厂房位于天津市开发区,建于1995年,主要生产半导体芯片。系统总面积1510m2, 其中空调面积385m2,净化面积1125m2,净化级别除黄光室为千级外,其余均为万级。 1.2 系统存在的主要问题 (1)厂房内只对千级间黄光室设围护结构, 其余房间均为敞开式,净化区域与非净化区混合在一起,系统较为混乱,难以控制和调节,净化区域的洁净度不能达到要求;
1.1 简况
该厂房位于天津市开发区,建于1995年,主要生产半导体芯片。系统总面积1510m2, 其中空调面积385m2,净化面积1125m2,净化级别除黄光室为千级外,其余均为万级。
1.2 系统存在的主要问题
(1)厂房内只对千级间黄光室设围护结构,
其余房间均为敞开式,净化区域与非净化区混合在一起,系统较为混乱,难以控制和调节,净化区域的洁净度不能达到要求;
(2)非净化区域的扩散炉,经测定表面温度可达50℃,散热量非常大,在原有设计中存在空调送风量不足问题,造成扩散炉周围区域的温度高达37℃,并且回风循环使用,不利于节能;
(3)酸洗槽的排风量不足,平均断面风速为0.1m/s,酸性物质存留在室内环境中,不能有效地排出,严重影响室内的卫生和生产环境;
(4)在厂房洁净区入口处的风淋室风速为12m/s的要求,需要更换循环风机。
2、改造方案
针对系统运行中出现的的以上情况,经与甲方协商,提出了改造方案。
2.1 工艺布置改造方案
2.2 净化空调系统改造方案
3、改造后的使用效果
系统改造后经高度确保每个房间的风量、正压达到设计要求,在动态下检测,厂房的洁净度、温湿度、噪声、照度等各项指标均达到设计要求。