有机废气处理消除法有热氧化、催化燃烧、生物氧化及集成技术。
有机废气处理消除法主要是通过化学或生化反应, 用热、催化剂和微生物将有机物转变成为CO2 和水。

热氧化有机废气处理
热氧化系统就是火焰氧化器, 通过燃烧来消除有机物的, 其操作温度高达700 ℃～1 ,000 ℃。这样不可避免地具有高的燃料费用, 为降低燃料费用, 需要回收离开氧化器的排放气中的热量。
回收热量有两种方式, 传统的间壁式换热和新的非稳态蓄热换热技术。
间壁式热氧化是用列管或板式间壁换热器来捕获净化排放气的热量, 它可以回收40 %～70 %的热能, 并用回收的热量来预热进入氧化系统的有机废气。预热后的废气再通过火焰来达到氧化温度,进行净化, 间壁换热的缺点是热回收效率不高。
蓄热式热氧化(简称RTO) 回收热量采用一种新的非稳态热传递方式。主要原理是: 有机废气和净化后的排放气交替循环, 通过多次不断地改变流向, 来最大限度地捕获热量, 蓄热系统提供了蓄热式热氧化/ 催化燃烧高的热能回收, 在某个循环周期内, 含VOC 的有机废气进入RTO 系统, 首先进入耐火蓄热床层(该床层已被前一个循环的净化气加热) , 废气从床层 吸收热能使温度升高, 然后进入氧化室; VOC 在氧化室内被氧化成CO2 和H2O , 废气得到净化; 氧化后的高温净化气离开燃烧室, 进入另一个冷的蓄热床层 , 该床从净化排放气中吸收热量, 并储存起来(用来预热下一个循环的进入系统的有机废气) 。并使净化排放气的温度降低。此过程进行到一定时间, 气体流动方向被逆转, 有机废气从床层进入系统。此循环不断地吸收和放出热量, 作为热阱的蓄热床也不断地以进口和出口的操作方式改变, 产生了高效热能回收, 热回收率可高达95 % , VOC的消除率可达99 %。