论文简介: 提出采用阻漏层进行洁净室气流分布的概念及理论方法,顺利实现了高效过滤器过滤、密封、气流分布作用的解耦。应用实例表明,该气流分布方式能增大单向流洁净空间的活塞流满布比,强化乱流洁净空间气流分布的主流区特性。 附件名:2007281170900784552.rar 文件大小:281K (升级VIP 如何赚取土木币)
提出采用阻漏层进行洁净室气流分布的概念及理论方法,顺利实现了高效过滤器过滤、密封、气流分布作用的解耦。应用实例表明,该气流分布方式能增大单向流洁净空间的活塞流满布比,强化乱流洁净空间气流分布的主流区特性。
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