征集洁净室湿度从40~60%提升至45~55%的方法
zews001
zews001 Lv.3
2011年12月28日 16:14:43
只看楼主

现有一半导体无尘车间【约3万平米】,原HVAC设计温湿度基准:22~26度;40%~60%现因客户AUDIT要求,将湿度SPEC更改为45%~55%,请问如何对现有系统进行改造以满足精度要求?改造设计中要注意哪些细节?

现有一半导体无尘车间【约3万平米】,原HVAC设计温湿度基准:22~26度;40%~60%
现因客户AUDIT要求,将湿度SPEC更改为45%~55%,请问如何对现有系统进行改造以满足精度要求?
改造设计中要注意哪些细节?
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adingkgb
2012年01月03日 19:43:15
12楼
对湿度的精度要求必原先高了,但差距不算很大

最简单的是从自控上来实现:冷追热或热追冷的动作可能会更频繁,能耗可能会增加

如果热湿负荷的变化较大的,为了保证效果可能需要增加二次加热的容量以及制冷量(但从要求的提高程度上来看,一般不需要。用原先设备的配置,通过自控程序调整,应该可以满足)
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