现在八寸晶圆厂中，一般使用MB，还是EDI啊？请大家提供信息，我急需，万分感谢！
现在八寸晶圆厂中，一般使用MB，还是EDI啊？请大家提供信息，我急需，万分感谢！
12楼
最稳定的。
二级RO+MB+Polisher。MB后加热交换器+脱气膜+UV
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13楼
天津中芯国际的晶圆厂用的就是EDI+MB+UF，在MB前加EDI可以大大延长MB的使用周期，MB的树脂是用DOW的。关于EDI的问题可以发email至edi988@163.com。
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14楼
最后的UF是用来做绝对过滤的吧~~这种UF要求很高的，尤其对溶出TOC的要求
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15楼
你的水质也要求太高了，所以用现在的普通工艺根本无法达到别说是保持标准出水了。
虽然现在的EDI技术并没有大量的普及，但是在国外，特别是大公司，技术已经基本成熟。
我赞成由二级RO+EDI+精混床，
如果维护得当，水质一般是能达到标准的
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16楼
单纯的EDI处理一般只能达到16-18兆欧,肯定要结合起来使用,能不能把EDI淡水室填充的树脂换成核级树脂,这样就OK了,哈哈
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17楼
EDI后面一般都要加Polisher的吧
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18楼
谢谢大家的帮忙,我们初期水量是六十吨,后期还要增加.EDI的出水量不是很大,这样的话是不是需要很多支膜,体积会变得庞大?
还要请教15楼的,EDI和MB的功能基本是差不多的,在EDI后加MB,MB还有什么作用?
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19楼
ＥＤＩ在ＤＩwater 范围内，出水在１６～１７Ｍ左右，关键部分在后面Ｐolishing 部分，
后面还有好多东西
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20楼
天津中芯国际的晶圆厂用的就是EDI+MB+UF，
这是指MB啊,不是POLISHING
一般不是EDI+POLISH+UF的啊?
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21楼
以下是引用blueocean2004在2005-09-01 16:47:54.0发表的内容：
单纯的EDI处理一般只能达到16-18兆欧,肯定要结合起来使用,能不能把EDI淡水室填充的树脂换成核级树脂,这样就OK了,哈哈[/quote
高质量的edi均采用核极树脂或更高级树脂进行生产，edi产水不能达到18兆，是由于其运行原理造成的，因为为保证edi连续运行必须在极化电流以上运行，而极化现象是对产水水质的提高是有害的。
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