现在八寸晶圆厂中，一般使用MB，还是EDI啊？请大家提供信息，我急需，万分感谢！
现在八寸晶圆厂中，一般使用MB，还是EDI啊？请大家提供信息，我急需，万分感谢！
2楼
我的情况和你差不多，我厂的纯水也是供给前道电子设备用的。目前我们用的是MB。听说目前EDI技术还不是很成熟，慎用。
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3楼
我们水质要求蛮高的，比电阻：１８.２兆欧，ＴＯＣ：１ppb,DO:1ppb,等等
现在正考虑选择的问题，我们也有自己的废水站．我想请问大家现在的８寸厂用的是什么的？
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4楼
大家多帮忙啊,发表发表意见,OK?
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5楼
应该用EDI,但是EDI运行管理复杂。
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6楼
edi 是美国著名的曝气设备厂，包括管式和盘式曝气器均有。从曝气效率和安装使用情况分析，曝气管优于曝气盘。
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7楼
我想借鉴其他８寸厂的经验，他们有谁知道吗？
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8楼
电阻率是很容易达到的，TOC和DO的要求比我们的高。
用UPW级的树脂应该可以达到TOC的要求，DO要求可以采用膜脱气。
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9楼
EDI技术稍微新一点，但是国内的EDI好的不多，国外的价格太贵，而且维护也不是那么方便。
MB稳定一点。但是，问题在于核子树脂怎么再生？哈哈
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10楼
我们以前公司做的，是用EDI，DO用脱气膜，效果当然好了，但是造价那个高啊（做过N多套）。晶圆厂有钱就另当别论了。
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11楼
二级RO＋EDI＋polish
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