TFT工厂的STOCKER对净化设备（FFU）有何要求?
TFT工厂的STOCKER对净化设备（FFU）有何要求?
2楼
等大家回复呀
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3楼
等待中
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4楼
对振动和噪音有何要求?
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5楼
TFT厂房STK和OHS,需求环境都是100K,一般设计都是满布,U15,
FFU布置一种顶布,一种侧面布置,常见这两种方案
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6楼
谢谢5楼的朋友,那么对振动和噪音有什么要求吗？
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7楼
STOCKER是什么？黄光区？英文看不懂
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8楼
对于STOCKER的FFU布置所碰到的案例，顶部FFU有满布的，也有50%分布的。过滤器有用H13，也有U15的。个人觉得够用就用，不求最高标准
对于振动要求个人觉得如果顶部FFU不是STK自带的，也就是说FFU跟STK不在一个整体上，应该对FFU不会特殊要求，侧面的FFU应该要求要高
STK用的FFU噪音个人觉得更不会有极高标准，应跟洁净室用的FFU一个标准就够了。因为STK内部是呆不住人的
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9楼
对stocker顶部的FFU，满布，直流，且这个FFU是安装在T-BAR上的，不和stocker有任何连接，效率且为
0.3um@99.999%，最好把风速开到最大0.45m/s
对于侧面的FFU吗，说法就很多了，第一要求厚度不能太厚，第二风量更大，第三震动更小
stocker是装玻璃或者TFT半成品的仓库
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本帖最后由 bjvts 于 2010-5-18 14:03 编辑 ]
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