我还想请教: 1.外延芯片车间有千级,万级,十万级 ,4.4米的层高,梁高0.6米,净化区吊顶2.5米,所以可用空间1.3米,这样的话空调风管 能走开吗? 2.对于洁净间开间大于六米的房间需要双侧回风吗? 3.为什么外延车间上方要预留一个3.3的技术夹层,听甲方说是为了放辅助设备,请问能有什么辅助设备? 4.电子厂房的冷冻水7-12度的就可以了吧 ,不用冰水机组吧。 等待你的回复。 我的QQ号是54511255。
1.外延芯片车间有千级,万级,十万级 ,4.4米的层高,梁高0.6米,净化区吊顶2.5米,所以可用空间1.3米,这样的话空调风管 能走开吗?
2.对于洁净间开间大于六米的房间需要双侧回风吗?
3.为什么外延车间上方要预留一个3.3的技术夹层,听甲方说是为了放辅助设备,请问能有什么辅助设备?
4.电子厂房的冷冻水7-12度的就可以了吧 ,不用冰水机组吧。
等待你的回复。
我的QQ号是54511255。