随着太阳能光伏产业的快速发展，对太阳能电池质量要求越来越高，这其中栅线质量、单晶硅绒面质量十分关键，如何快速高效检测相关参数成为行业关注重点。

VT6000激光共聚焦显微镜是中图仪器推出的一款微观3D测量仪器，能够对太阳能电池片微观结构进行三维形貌重建。具有测量精度高、全自动化、快速测量、处理数据便捷等优点。

在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。共聚焦显微镜可以对栅线进行快速检测，软件具备对视场内的栅线自动测量功能，能够对扫描获取的三维轮廓进行多剖面分析，计算出每个剖面的栅线高度及宽度尺寸。

栅线

栅线轮廓

此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影响减反射陷光效果，是光电转换效率的重要决定因素。VT6000激光共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建，并由专用分析模块自动获取绒面上每个金字塔的体积，比表面积等信息，计算出单位面积金字塔数量和不同尺寸金字塔的比例。

绒面形貌

绒面金字塔分析

VT6000激光共聚焦显微镜是一款可以为太阳能行业实验室和生产过程检测需求服务的高性能检测设备，提供从二维到三维的多尺度检测手段，将会在太阳能电池加工过程中发挥越来越重要的作用。