光掩膜版，是光刻工艺不可缺少的部件。版上承载有设计图形，光线透过它，把设计图形透射在光刻胶上。光掩膜版的性能直接决定了光刻工艺的质量，储存盒直接保证以上性能的实现，其精密程度直接关系到电路与最终产品的