EFE半导体晶圆移载系统
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上传:tumux_70426
2023-12-28
5分
EFEM（EquipmentFrontEndModule）为半导体晶圆移载系统，透过整合洁净机械手，可实现低微粒尘生产。拥有高整合式设计，可对应不同客户需求。...
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