集成复合沉积头三坐标测量机床，主轴平台主要实现机械手的上下运动和主旋转运动，顶部的伺服电机通过弹性联轴器连接滚珠丝杠实现机械手的上下运动，整个移动平台固定在旋转平台上，旋转平台和旋转主轴相连。底部的伺