3RRR并联宏微动纳米高精度定位平台，三个转动副关节，中间动平台是通过有限元优化出来的拓扑结构，微观驱动由压电陶瓷驱动，宏观运动到达一定位置之后，由中间的动平台进行微小补偿，从而可以达到纳米精确定位.