晶圆清洗装置提篮机械部件，采用谐波减速机来驱动双侧夹爪，适应4-8寸晶圆篮的夹取，四爪带有确认传感器，防止晶圆篮脱落，图纸选用两种谐波减速机完成设计。solidworks2019文件格式，参数可编辑。