精密定位平台扫描台高精度微型六维位移台SMARPOD包含所有零部件产品拥有以下特点：1）拥有六个自由度平台是一个并联运动纳米操作系统，不同于常规的堆叠设计，该平台由多个线性平台同时运动驱动。定位器的平