微悬臂梁传感器所需真空系统二维图，包含2张A0图纸，3张A1图纸，结构包含调节阀、基座、真空室等。微悬臂梁传感器所需真空系统分成真空室、抽气模块、进气模块、进液模块、检测模块、支架模块...