晶圆搬运机械手设计
版权资料 上传:tumux_34784 2023-12-15
5分
RR751是SCARA机器人,所有轴都有带编码器的步进电机。双臂交换晶圆在最短的时间内,以提高传输的吞吐量。可将机器人X轴轨道添加到外部,以执行来自机器人侧的同步控制,包括教学位置。广泛用于半导体、I
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