晶圆提篮升降机构:晶圆以提篮供料，提篮于供料模块上需进行升降分度以逐片进出提篮作业晶圆传送机构:晶圆自提篮以晶圆移载机构取出并送至晶圆工作台进行芯片吸取作业，待完成所有芯片吸取后，再由移载机构送至提篮