INFICON真空开关VSA100A用作真空系统的安全开关。例如，对真空系统进行排气的吹扫气低于大气压6毫巴时，自动干预气体供应。与大气压的压差达到6毫巴时，开关断开，而当压力上升到低于大气压3毫巴时