龙门型3轴平台设计模型图，定制化高端运动产品，是利用电磁驱动技术以满足一类纳米级超精密运动与定位载物台的产品的定制需求。市场与技术应用领域聚焦于纳米至百纳米级精度尺度的定位与运动实现，如晶元检测、无掩