SOGEVAC泵属于油封旋片泵。泵油注入泵腔用于密封、润滑和冷却，泵油在油箱回收并过滤（若需要）。润滑系统在高进气口压强（最高1000mbar，绝对压强）下可持续运行，SOGEVAC泵在大多数粗真空应