带空气轴承的音圈线性平台外形紧凑，可提供高速度和高加速度。运动平台的部件无接触，可确保最高的性能、质量和使用寿命。该线性平台可以高速扫描，由于无摩擦运动，因此不会形成颗粒，从而使平台成为无尘室应用的优