1905年，法国工程师LeonCreux发明了涡旋压缩机，而今涡旋泵被用作无油真空泵。每台涡旋泵都由两个阿基米德螺旋件构成，这两个螺旋件彼此相对并错开180°，因此形成了若干个大小不一的月牙形凹槽。采