涡旋泵采用偏心驱动的设计，运动螺旋件相对于固定螺旋件是按确定轨道旋转，从而缩小了凹槽容积并将气体从外朝内挤压，实现抽气功能。保持精确的制造公差并选择合适材料对于涡旋泵质量十分重要。优点：绝对无油；有效