3款TrueDyne液体粘度传感器，可测量微机电系统（MEMS系统）中流体的粘度。在传感器中，介质通过压力梯度到达Ω芯片（Ω形微通道）。该振动测量系统通过将芯片中的硅管设置为共振振荡并对其进行分析来生