莱宝分子泵TURBOVAC MAG W 3200 C/CT 参考模型
版权资料 上传:tumux_26564 2023-11-15
5分
TURBOVACMAGW3200C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,涡轮分子泵用于以下应用场合:-蚀刻;-溅射;-离子注入;-CVD;-光刻。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需
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