PVD系列真空泵为双级真空泵，泵体小而坚固，极限压力低，运转时的振动、噪音小。另外，由于装有气镇阀，对水蒸气等冷凝性气体进行排气过程中发挥作用。二级旋片式PVD真空泵由两个工作室组成。两室前后串联，同