全磁浮涡轮分子泵ATH2300M，对氮气的抽速最高可达2150l/s，极限真空<6X10-9hPa，集成分子泵控制器OBC或外部Magpower控制器。全磁浮涡轮分子泵核心科技是Holweck五轴控制