多弧离子镀靶材-适用钛铝铬硅等多种元素
版权资料 上传:tumux_52357 2023-11-01
5分
磁控溅射靶材包括背板、绑定层、和靶材本体;背板内设置有冷却构件;绑定层由连接碳板,螺栓构成,用于绑定靶材本体和连接各部件;靶材本体由靶材、铜背板、导磁片、磁靴、磁钢、极座和磁轭构成。...
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