6212-22路伺服辅助隔膜阀，带有伺服隔膜的二位二通电磁阀和带有介质分离部件的三通先导式阀，作用方式为NC和NO。先导式阀中的介质分离部件，使得阀门也可被应用于具有轻微侵蚀性的介质（例如去离子水）。