离子热升华组合泵一直很受欢迎,多年来创造超高真空的选择环境。钛升华造成对可抽取气体的特高抽速，而离子抽取机制又可处理不可捕获的气体，例如氩气和甲烷。这种组合泵是VacIonPlus150,300或50