磁悬浮轴承型复合分子泵
版权资料 上传:tumux_66869 2023-10-31
5分
磁悬浮轴承型复合分子泵,利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。...
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