超精密光栅尺位移测量系统
版权资料 上传:tumux_61000 2023-10-30
5分
光栅尺,也称为光栅尺位移传感器(光栅尺传感器),是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺经常应用于数控机床的闭环伺服系统中,可用作直线位移或者角位移的检测。...
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