低温定位台高共振CPSHR3-S-COE低温定位台高共振（CPSHR）是为在低温真空环境中使用而开发的XYZ定位台。并联运动会导致一个轻而刚性的平台，并具有很高的内部共振频率，从而使其对地板振动的敏感