低温定位台高共振CPSHR3-S-COE
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上传:tumux_68003
2023-10-30
5分
低温定位台高共振CPSHR3-S-COE低温定位台高共振（CPSHR）是为在低温真空环境中使用而开发的XYZ定位台。并联运动会导致一个轻而刚性的平台，并具有很高的内部共振频率，从而使其对地板振动的敏感
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