超高真空镀膜设备装置，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。本设备图是镀膜研发实验项目用，具有很好的参考和