此微粒过滤器是直插式15微米微粒过滤器，过滤掉微粒的效率高于95%。另一种过滤器是一个13X分子筛，其可俘获挥发性有机化合物。如果过滤器饱和了，流量计检测到的气流将会减小。需要更换过滤器时，这两种过滤