半导体载片台升降传片机构
版权资料 上传:tumux_85440 2023-10-17
5分
半导体载片台升降传片机构主要有摆放架、升降控制、载片体机构等部件组成。合适的固定结构,对于晶圆传输过程的可靠性、稳定性和重复性有重要的作用。通过包裹的方式,减少晶圆的污染,同时对于作业的安全性也有优点
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