半导体生产制造业在国民经济中起着举足轻重的作用，相关企业的规模也越来越大。其供配电系统稳定、可靠的运维不仅是其安全生产的基本保证，还关系到产品质量和生产的顺利进行。而半导体行业中大部分工艺设备对电能质