用ANSYS软件对暴露在空气中共面型GaAs光导开关进行了模拟仿真，根据其电场分布在X方向和y方向的剖面图可以看出：在GaAs表面、电极、空气隙3种介质的交界面是极易发生击穿的区域，特别在电极的拐角部