利用ANSYS软件采用顺序耦合法对静电驱动悬臂梁式微开关进行力电耦合分析，得出了微开关的动态响应特性，并指出了空气阻尼对器件性能的影响；在动态分析的基础上，详细分析了微开关结构参数和其动态临界电压的关