本资料为某硅晶片生产厂房净化空调设计，内容简介：结合某硅晶片厂房洁净室净化空调系统的实例，介绍了洁净室的净化空调设计原则、气流组织形式、空气处理过程。并对空调系统的自控问题进行了阐述和讨论。